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资质荣誉

2023国家企业技术中心
2021国家高新技术企业
2021第四届集成电路产业技术创新奖
2020辽宁省科学技术奖励证书
2017中国半导体设备五强企业
2017辽宁省科学技术奖励证书
2016中国半导体设备五强企业
2016第十一届半导体创新产品和技术
2020沈阳市民营企业科技创新100强
2019第二届集成电路产业技术创新奖
（12英寸PECVD）
2018沈阳市民营企业科技创新百强
第十九届中国专利优秀奖
2017中国专利优秀奖
2015沈阳市专利奖
2015科学进步二等奖
2011科学技术奖励证书
知识产权管理体系认证证书
ISO 45001 2018
ISO 9001 2015
ISO 14001 2015
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